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扩散炉
( 型号 : MASGEL-S300 )
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产品介绍：
MASGEL-S300太阳能电池专用硅片扩散炉主要满足光伏电池生产线对125mm×125mm、156mm×156mm多晶硅、单晶硅硅片进行扩散工艺。目前有第二代闭管扩散炉以及第三代软着陆扩散炉。
技术指标：
MASGEL-S300太阳能电池专用硅片扩散炉可处理硅片尺寸：125mm×125mm、156mm×156mm
MASGEL-S300太阳能电池专用硅片扩散炉外型形式：卧式1—4管结构
MASGEL-S300太阳能电池专用硅片扩散炉载片量：400片／管
MASGEL-S300太阳能电池专用硅片扩散炉扩散方式：闭管扩散、软着陆全封闭
MASGEL-S300太阳能电池专用硅片扩散炉工作温度：200°C—1300°C
MASGEL-S300太阳能电池专用硅片扩散炉恒温区长度及精度：200mm—1100mm≤±1°C
MASGEL-S300太阳能电池专用硅片扩散炉单点温度稳定性、重复性： ≤±1°C／24h
MASGEL-S300太阳能电池专用硅片扩散炉温度控制：5段控温
MASGEL-S300太阳能电池专用硅片扩散炉总功率：120KwA
MASGEL-S300太阳能电池专用硅片扩散炉送片装置：悬臂推拉舟，碳化硅桨最大载重17kg
MASGEL-S300太阳能电池专用硅片扩散炉气路系统：1—5路工艺气体／管
MASGEL-S300太阳能电池专用硅片扩散炉气体控制：进口MFC
MASGEL-S300太阳能电池专用硅片扩散炉控制方式：工控机、触摸屏
MASGEL-S300太阳能电池专用硅片扩散炉加工周期：60日
Thinnerwafers：180Um
Break rate：0.8％
方阻均匀度范围：片内±3％，片间±3％，批间±5％
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青岛曼什微电子设备制造有限公司| MASGEL
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友情提示：以上产片均为非标类产品，均可根据客户要求进行定制，因每家要求各不相同，
因此产品只以一张图片举例，并未全部列出。本公司兼营进口设备仿制业务，欢迎来电垂询。
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