MAS-RE-8860进口扩散炉适用工艺：扩散（硼扩、磷扩）、氧化、合金、退火等工艺。

进口扩散炉应用：应用于集成电路、分立器件、光电子器件、电力电子器件、太阳能电池等领域，适用2~8英寸工艺尺寸

进口扩散炉产品特点：

◆进口扩散炉主机为水平一至四管炉系统构架，独立完成不同的工艺或相同工艺

◆进口扩散炉工业计算机控制系统，对炉温、进退舟、气体流量、闸门等动作进行自动控制

◆进口扩散炉采用悬臂送片器：操作方便、无摩擦污染等

◆进口扩散炉关键部全部采用进口，确保设备的高可靠性

◆进口扩散炉工艺管路采用进口阀门管件组成-气密性好、耐腐蚀、无污染（管路均采用EP级电抛光管路），流量控制采用进口质量流量计

◆进口扩散炉采用进口温控系统，控温精度高，温区控温稳定性好；

◆进口扩散炉具有断电报警、超温报警、极限超温报警等多种安全保护功能（功能可添加）

◆进口扩散炉采用进口材质加热炉体，确保恒温区的高稳定性及长寿命

进口扩散炉主要技术指标：

1、进口扩散炉工艺说明

1.1氧化：干氧工艺，湿氧工艺（去离子水、氢氧合成-内/外点火）

1.2扩散：硼扩、磷扩（液态源、固态源等）

1.3合金、退火等工艺

2、进口扩散炉系统组成：主机（进口加热体、进口石英/SiC管、进口功率组件等)、自动送片（进口悬臂-SiC）净化工作台、气路气源系统（气源柜）、计算机控系统等组成

3、进口扩散炉控制方式：手动送片/自动送片

4、进口扩散炉配置（可选）：

4.1进口扩散炉仪表控制：计算机/触摸屏控制

4.2进口扩散炉工艺管：（水平结构）1-4管

4.3进口扩散炉工艺规格：2~6英寸晶圆或125mm×125mm、156mm×156mm太阳能电池片（工艺腔体为石英或碳化硅）

4.4进口扩散炉恒温区长度：1100mm/800mm/600mm/450mm（可定制）

4.5进口扩散炉晶圆装载：悬臂式，刚玉/碳化硅杆，碳化硅桨

4.6进口扩散炉工作台：有净化/无净化

4.7工艺气路：对应的工艺气路，气路阀门组件采用国际优质品牌产品（如SWAGELOK、PARK、SANDVIK、CARDINAL等等），MFC国际优质（如MKS、UNIT、STEC等）

5、进口扩散炉主要技术参数：

5.1进口扩散炉工作温度：200～1370°C

5.2进口扩散炉加热体控制点：3/6点

5.3进口扩散炉炉体恒温区：450mm-1100mm（可定制）

5.4进口扩散炉恒温区精度：＞800°C/±0.5°C ，＜800°C/±1°C

5.5进口扩散炉单点温度稳定性：600～1300°C/ ±0.5°C/24h

5.6进口扩散炉最大可控升温速度：15°C/min

5.7进口扩散炉最大降温速度：5°C/min（900～1300°C）

5.8进口扩散炉供电：三相四线，380VAC/50HZ

6、进口扩散炉结构尺寸：水平扩散炉/垂直扩散炉

--------------------------------------------------------------------------------

青岛曼什微电子设备制造有限公司