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扩散炉炉体
( 型号 : MASGEL2000 )
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产品介绍：
MASGEL2000系列扩散炉炉体主要用作半导体、功率器件、集成电路等行业中管式热壁系统的加热装置。可与美国TEMPRESS、美国TYAN、美国THERMCO、荷兰ASM、英国BTU等国外多种型号扩散炉配套（替代进口），采用国外先进的加工工艺，选用进口材料，可处理2-8英寸硅片的扩散工作。
产品特性：
◆MASGEL2000系列扩散炉炉体尺寸：2-8寸 立式/卧式
◆MASGEL2000系列扩散炉炉体加热炉丝：瑞典康泰尔高温炉丝
◆MASGEL2000系列扩散炉炉体保温材料：英国摩根进口保温层
◆MASGEL2000系列扩散炉炉体绝缘材料：高精度99瓷拉条绝缘子
◆MASGEL2000系列扩散炉炉体使用温度：350°C—1300°C
◆MASGEL2000系列扩散炉炉体外 壳：不锈钢板/铝板
◆MASGEL2000系列扩散炉炉体端 口：优质氧化铝氧化锆
◆MASGEL2000系列扩散炉炉体控温段：3-9段控温
◆MASGEL2000系列扩散炉炉体 口 径：Φ60mm—Φ450mm
◆MASGEL2000系列扩散炉炉体恒温区：100-1600mm
按客户的炉型要求，可内衬高纯刚玉管或SiC管
供货类型：
MASGEL2000系列扩散炉炉体按结构形式分为：卧式炉体、立式炉体
MASGEL2000系列扩散炉炉体按工艺温度分为：高温炉体、低温炉体以及快速升降温炉体
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青岛曼什微电子设备制造有限公司| MASGEL
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友情提示：以上产片均为非标类产品，均可根据客户要求进行定制，因每家要求各不相同，
因此产品只以一张图片举例，并未全部列出。本公司兼营进口设备仿制业务，欢迎来电垂询。
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